集成電路制造的CMP鉆石碟用金剛石片
臺鉆科技主要從事HPHP鉆石、CVD鉆石以及鉆石工具、鉆石檢測儀器的研發(fā)，生產(chǎn)和銷售。
所屬分類：
關鍵詞：CVD鉆石 | HPHT鉆石 | 鉆石鑒別儀器
詳情介紹
CMP鉆石碟為CMP技術重要耗材,指用于維持拋光墊表面粗糙狀態(tài)及研磨性能的材料。CMP鉆石碟具有硬度高、耐腐蝕性強、可延長拋光墊使用壽命等優(yōu)勢,在晶圓制造過程中應用較多。近年來,伴隨晶圓制造逐漸往平坦化方向發(fā)展,CMP鉆石碟應用前景不斷向好。
CMP鉆石碟的技術核心:鉆石碟表面的金剛石顆粒不能有疊砂,表面必須足夠平整;表面的金剛石分布密度要足夠多,保證一定的磨削能力;修整器表面的金剛石顆粒在研磨拋光墊的過程中不能脫落,以免脫落的金剛石顆粒劃傷晶圓表面。
鉆石是金剛石精加工而成的產(chǎn)品，鉆石是世界上堅硬的、成份簡單的寶石，它是由碳元素組成的、具立方結構的天 然晶體。其成份與我們常見的煤、鉛筆芯及糖的成份基本相同，碳元素在較高的溫度、壓力下，結晶形成石墨(黑色)，而在高溫、巨高氣壓及還原環(huán)境(通常來說就是一種缺氧的環(huán)境)中則結晶為珍貴的鉆石(無色)。鉆石產(chǎn)量很少，通常為無色晶體，具有高度的折光特性，能折射出多彩的光澤。鉆石不僅可以用作首飾，工業(yè)上也用來作為高 級的切削和研磨材料，鉆石的化學性質很穩(wěn)定，在常溫下不容易溶于酸和堿，酸堿不會對其產(chǎn)生作用。鉆石具有親油疏水的特性，因此在鉆石首飾的保養(yǎng)中，強調(diào)避免將鉆石處于重油的環(huán)境下，影響鉆石首飾的火彩。
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